
12寸大型气浮探针台 T-300G

样品台材质:铝合金、PTFE、陶瓷、镀金(可选) 样品台尺寸:12 英寸 采用 Air Bearing Stage 技术,可单轴控制迅速定位芯片 高温:常温~200℃/300℃/400℃/500℃(选配) 独立控制真空吸附,中心吸附孔,四圈吸附环 样品台电学独立悬空,可做背电极使用 样品台可 360 度旋转,可±5 度精细微调 样品台可 0~10mm 精细升降 样品台 X-Y 位移范围:300mm*300mm 针座平台C 型设计,可放置 4~10 个探针座 整体:690mm 长*755mm 宽*572mm 高 重量:约 110 千克